半導體製造吹綠色風 混合準分子雷射系統興起

作者: Tatsuo Enami
2015 年 02 月 16 日
綠色環保日益受到半導體廠重視,特別是晶圓製造業者為了在大量生產過程中降低耗材與停機成本,已開始評估在製程中採用新一代混合準分子雷射光源;此種雷射系統不僅耗電量更低,且氣體用量也大幅減少,因而能兼顧晶圓廠綠色製造與降低營運成本的要求。
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